The application of double frequency laser on the ultra  precision measuring  system of diameter of aperture

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.05.016

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The application of double frequency laser on the ultra precision measuring system of diameter of aperture

更新时间：2025-09-01

- The application of double frequency laser on the ultra precision measuring system of diameter of aperture
- Issue 5, Pages: 435-436(2000)
- 作者机构：
  
  1. 1:哈尔滨工业大学自动化测试及控制系,哈尔滨,150001
  2. 2:哈尔滨工业大学自动化测试及控制系,哈尔滨,150001
  3. 3:哈尔滨工业大学自动化测试及控制系,哈尔滨,150001
  4. 4:哈尔滨工业大学自动化测试及控制系,哈尔滨,150001
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- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.05.016
  CLC：
- Published：2000
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The application of double frequency laser on the ultra precision measuring system of diameter of aperture[J]. 2000, (5): 435-436.
DOI：

The application of double frequency laser on the ultra precision measuring system of diameter of aperture[J]. 2000, (5): 435-436. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.05.016.

摘要

一种以激光波长为基准的小孔孔径超精测量系统

采用双频激光干涉技术、温度误差实时修正技术和符合阿贝原则的合理布局

在 8mm～ 5 0mm的范围内实现 0 .0 1μm的分辨力和 0 .1μm的测量精度。该方法已成功应用在惯性仪表零件孔径及垂直度的超精测量中。

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