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1. 1:清华大学精仪系精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
2. 2:清华大学精仪系精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
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4. 4:清华大学精仪系精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
Published:2000
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Improving the properties of the optical-fiber heterodyne-interference displacement sensor[J]. 2000, (5): 474-476.
DOI:
Improving the properties of the optical-fiber heterodyne-interference displacement sensor[J]. 2000, (5): 474-476. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.05.030.
利用半导体激光器 (LD)、光隔离器、光纤定向耦合器、自聚焦透镜等组成双路光纤斐索型干涉仪。采用三角波电流调制
上、下边沿拍频信号差动鉴相的方法
提高了测量灵敏度和位移响应速度
增大了测量范围 ;利用辅助干涉仪检测系统的相位漂移
并对LD发光波长进行反馈控制
提高了系统的稳定性
实现了大测量范围、高分辨率、高精度位移测量。
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