Development of FP500 ultra-precision flat tin  lap polishing machine

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Development of FP500 ultra-precision flat tin lap polishing machine

更新时间：2025-09-01

- Development of FP500 ultra-precision flat tin lap polishing machine
- Issue 6, Pages: 486-488(2000)
- 作者机构：
  
  1. 1:中科院人工晶体研发中心,北京,100080
  2. 2:中科院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022
  3. 3:中科院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.06.003
  CLC：
- Published：2000
- 稿件说明：
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Development of FP500 ultra-precision flat tin lap polishing machine[J]. 2000, (6): 486-488.
DOI：

Development of FP500 ultra-precision flat tin lap polishing machine[J]. 2000, (6): 486-488. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.06.003.

为减小在超光滑表面制造中对经验的依赖

为提高加工精度及重复精度

研制了采用锡磨盘的超精密平面研抛机。该机床集超精密车削与超精密研抛于一体

可以进行基于多种基本原理的超光滑研抛实验研究。介绍了超精密平面研抛机总体设计方案

主要包括机床的结构及精度设计的指导思想、关键部件的结构与驱动系统的方案选择以及机床的外部环境设计。

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