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1:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津市微纳制造技术工程中心天津大学精密仪器与光电子工程学院
Published:2010
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Ultra-precision turning of aspheric mirrors using error-decreasing amendment method[J]. 2010, 36(1): 51-55.
DOI:
Ultra-precision turning of aspheric mirrors using error-decreasing amendment method[J]. 2010, 36(1): 51-55. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.01.006.
误差滤波和分离技术是超精密加工中的关键技术之一。采用误差递减法修正加工路径
利用修正的高斯权函数对测量表面进行滤波处理
设计并完成了整个误差递减系统
实现非球面的超精密车削加工
并在很大程度上提高其表面精度(P-V值)。通过实验验证
利用该加工方法
提高了加工效率
可明显地提高非球面的表面精度
最终达到面形精度小于200nm。
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