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1:清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室
Published:2010
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Experimental measurement of the nanoscale vibration of microprobe[J]. 2010, 36(2): 168-171.
DOI:
Experimental measurement of the nanoscale vibration of microprobe[J]. 2010, 36(2): 168-171. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.02.001.
微探针是扫描探针显微镜(SPM)的重要组成部件
其共振频率等振动特性直接影响系统的性能。给出了系统微探针共振频率的测试方法
对微探针在压电陶瓷驱动力作用下的受迫振动进行了有限元分析。提出了相位变化0.1°所对应的0.1nm位移分辨率的双频激光外差干涉光学测量系统
对微探针纳米尺度振动特性进行了测试对比实验
并对SPM标定样块进行了比对分析。实验结果验证了双频激光外差干涉测量方法的可行性和其应用价值。
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