The design of flying vision system based on rotating reflection mirror

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.05.027

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The design of flying vision system based on rotating reflection mirror

更新时间：2025-09-01

- The design of flying vision system based on rotating reflection mirror
- Vol. 36, Issue 5, Pages: 677-681(2010)
- 作者机构：
  
  1:哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.05.027
  CLC：
- Published：2010
- 稿件说明：
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The design of flying vision system based on rotating reflection mirror[J]. 2010, 36(5): 677-681.
DOI：

The design of flying vision system based on rotating reflection mirror[J]. 2010, 36(5): 677-681. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.05.027.

摘要

在MEMS麦克风贴片工艺中

真空吸嘴吸取MEMS芯片以后需要进行芯片位姿的精确校正。为实现高速高精度贴片功能

提出了一种基于旋转式反射镜的飞行视觉系统

该方案利用齿轮齿条将吸嘴的升降运动转化为反射镜的旋转运动

通过设计齿轮参数

实现反射镜不干涉吸嘴的拾放功能。当反射镜旋转到与水平位置夹角呈45°时

视觉系统可以获得MEMS芯片的静止的清晰图像

CCD相机采集一幅图像后

在贴片头飞行的过程中

控制系统完成MEMS芯片的位置和角度的校正。实验结果表明

该系统可以获取高质量MEMS芯片图像。该系统结构简单紧凑

成像无失真

不限制贴片头的运动轨迹

显著提高了MEMS芯片的贴片质量和贴片效率

可广泛地应用于贴片机系统中。

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