In-situ measurement method based on ultra-precision machine for optical free-form surface

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.06.007

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In-situ measurement method based on ultra-precision machine for optical free-form surface

更新时间：2025-09-01

- In-situ measurement method based on ultra-precision machine for optical free-form surface
- Vol. 36, Issue 6, Pages: 829-833(2010)
- 作者机构：
  
  1. 1:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
  2. 2:天津微纳制造工程技术中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.06.007
  CLC：
- Published：2010
- 稿件说明：
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In-situ measurement method based on ultra-precision machine for optical free-form surface[J]. 2010, 36(6): 829-833.
DOI：

In-situ measurement method based on ultra-precision machine for optical free-form surface[J]. 2010, 36(6): 829-833. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.06.007.

摘要

原位测量是提高光学自由曲面面形精度的重要手段

对于提高加工效率、实现加工过程自动化具有重要意义。由于面形的复杂性

光学自由曲面原位测量一直是超精密测量领域的难题。提出了一种基于超精密机床的光学自由曲面原位测量方法

测量系统由LVDT气浮式传感器、红宝石探针和数据采集部件组成

采用螺旋线方式进行加工及测量路径的设计

通过运动控制接口实现机床坐标和测量数据的实时同步采集

快速精确地获取测量数据。实验结果表明

所加工的双正弦自由曲面的面形误差在±0.5μm范围内。

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