Experimental research on surface profile measuring system based on incoherent optical feedback

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.02.005

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Experimental research on surface profile measuring system based on incoherent optical feedback

更新时间：2025-09-01

- Experimental research on surface profile measuring system based on incoherent optical feedback
- Vol. 37, Issue 2, Pages: 148-152(2011)
- 作者机构：
  
  1:上海理工大学光电信息与计算机工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.02.005
  CLC：
- Published：2011
- 稿件说明：
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Experimental research on surface profile measuring system based on incoherent optical feedback[J]. 2011, 37(2): 148-152.
DOI：

Experimental research on surface profile measuring system based on incoherent optical feedback[J]. 2011, 37(2): 148-152. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.02.005.

摘要

数值研究了非相干光反馈时半导体激光器输出功率随反馈系数的变化关系以及待测物体离焦量与反馈系数的关系。提出了基于非相干光反馈的表面轮廓测量系统

并实验验证了系统的可行性

完成了对一元硬币的二维平面扫描成像

并分析了实验结果中的误差以及可能影响测量结果的主要因素。

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