Research status and developing trends of diffraction grating interferometer measurement system

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.03.009

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Research status and developing trends of diffraction grating interferometer measurement system

更新时间：2025-09-01

- Research status and developing trends of diffraction grating interferometer measurement system
- Vol. 37, Issue 3, Pages: 313-316(2011)
- 作者机构：
  
  1:合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.03.009
  CLC：
- Published：2011
- 稿件说明：
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Research status and developing trends of diffraction grating interferometer measurement system[J]. 2011, 37(3): 313-316.
DOI：

Research status and developing trends of diffraction grating interferometer measurement system[J]. 2011, 37(3): 313-316. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.03.009.

摘要

在车间条件下操作时

光栅干涉仪在测量精度方面优于He-Ne激光干涉仪。基于光栅干涉测量系统有一些特别的优点

导致其在高精密测量中用途不断增加。阐述了衍射式光栅干涉测量系统的工作原理和特点

同时详细总结了国际上生产和研究衍射光栅干涉测量系统的厂家和研究机构及他们的产品。并指出该系统的发展趋势和存在的问题

为衍射式光栅测量系统的研究和发展提供参考。

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