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1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Published:2011
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Develop of multi-application and modular Hartmann wavefront sensor[J]. 2011, 37(3): 362-365.
DOI:
Develop of multi-application and modular Hartmann wavefront sensor[J]. 2011, 37(3): 362-365. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2011.03.018.
分析了哈特曼传感器的主要设计指标
介绍了设计研制的一种多用途、模块化哈特曼传感器
通过将传感器的主要部件
包括光源、准直镜、分光棱镜、缩束光路、微透镜阵列及相机等进行模块化设计
根据不同需求
对各模块增减或更换
实现了一套传感器多种用途的应用。并用该传感器进行了系统波像差及光学元件面形检测实验
通过与Zygo干涉仪的测量结果对比
得出该传感器测量精度λ/50 RMS。
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