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1:北京信息科技大学光电信息与通信工程学院
Published:2012
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Research of displacement measurement system based on chromatic confocal[J]. 2012, 38(1): 83-88.
DOI:
Research of displacement measurement system based on chromatic confocal[J]. 2012, 38(1): 83-88. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.01.013.
为实现小型化、非接触式、快速高精度的位移测量
设计并搭建了基于光学彩色共焦原理的位移测量系统。系统中数据拟合采用的方法是
对光谱响应函数极值周围的数据进行高斯叠加拟合
以获得光谱响应曲线的峰值
从而得到峰值所对应的波长。经过实验验证
系统的测量范围为2mm
测量精度可以达到10μm
线性度为3.4%
光谱响应的半高宽(FWHM)为49nm。因此能够满足一定精度的位移测量需求。
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