Research on testing technique and algorithm for MEMS deformable mirrors

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.02.008

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Research on testing technique and algorithm for MEMS deformable mirrors

更新时间：2025-09-01

- Research on testing technique and algorithm for MEMS deformable mirrors
- Vol. 38, Issue 2, Pages: 185-190(2012)
- 作者机构：
  
  1:中南民族大学电子信息工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.02.008
  CLC：
- Published：2012
- 稿件说明：
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Research on testing technique and algorithm for MEMS deformable mirrors[J]. 2012, 38(2): 185-190.
DOI：

Research on testing technique and algorithm for MEMS deformable mirrors[J]. 2012, 38(2): 185-190. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.02.008.

摘要

介绍了基于计算机控制的频闪显微干涉测量技术

实现了对MEMS微变形镜的表面形貌、离面变形、静态电压-位移曲线和谐振频率的测量。采用频闪成像、计算机微视觉技术以及基于最小二乘曲面拟合法的亚像素定位技术实现了对平面内微位移的测量;利用频闪成像以及5步相移干涉技术实现了对干涉相位的提取

建立了适合于MEMS微变形镜特性测试的相位解缠算法

恢复了代表被测物体表面形貌的真实相位

实现了微变形镜静动态特性的测试。测试结果表明:频闪显微相移干涉测量技术具有测量速度快、精度高、易实现自动控制等特点。

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