Control of a space three dimensional nanopositioner based on fuzzy self-adjusted PI method

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更新时间：2025-09-01

- Control of a space three dimensional nanopositioner based on fuzzy self-adjusted PI method
- Vol. 38, Issue 2, Pages: 202-207(2012)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院自适应光学重点实验室
  2. 2:中国科学院光电技术研究所
  3. 3:中国科学院研究生院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.02.011
  CLC：
- Published：2012
- 稿件说明：
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Control of a space three dimensional nanopositioner based on fuzzy self-adjusted PI method[J]. 2012, 38(2): 202-207.
DOI：

Control of a space three dimensional nanopositioner based on fuzzy self-adjusted PI method[J]. 2012, 38(2): 202-207. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.02.011.

介绍了一种空间三自由度纳米定位平台

其应用背景为光刻投影物镜波像差检测系统的精密对准

因此对定位精度和定位速度都提出了很高的要求。首先简要介绍了空间三维纳米定位台;然后将模糊控制同传统PI(比例积分)控制相结合

利用定位偏差和偏差变化率信息

通过模糊推理实时调整PI控制参数

并在VC++环境下实现了模糊自整定PI参数的控制算法。实验结果表明

该控制方法较常规PI控制器能够有效地提高响应速度

减小阶跃响应超调量

保证了控制的实时性。

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