Recent developments in fabrication of miniature fiber-optic interferometer sensors by femtosecond laser

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.02.021

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Recent developments in fabrication of miniature fiber-optic interferometer sensors by femtosecond laser

更新时间：2025-09-01

- Recent developments in fabrication of miniature fiber-optic interferometer sensors by femtosecond laser
- Vol. 38, Issue 2, Pages: 250-256(2012)
- 作者机构：
  
  1. 1:山东大学控制科学与工程学院
  2. 2:山东大学信息科学与工程学院
  3. 3:德州学院物理系
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.02.021
  CLC：
- Published：2012
- 稿件说明：
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Recent developments in fabrication of miniature fiber-optic interferometer sensors by femtosecond laser[J]. 2012, 38(2): 250-256.
DOI：

Recent developments in fabrication of miniature fiber-optic interferometer sensors by femtosecond laser[J]. 2012, 38(2): 250-256. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.02.021.

摘要

飞秒激光脉冲持续时间短、峰值功率高

在对物质进行处理过程中热作用区域小、加工精度高

已成为一种制作高性能、新结构光子器件的重要方法。简单介绍了飞秒脉冲激光微加工的方法和特性

归纳了飞秒激光直写技术在光纤干涉型传感器制作方面的研究进展

包括微型光纤Fabry-Perot干涉传感器和微型光纤Mach-Zehnder干涉传感器

重点介绍了这些光纤传感器的结构、特性和潜在应用。对用该技术制作的微型光纤干涉传感器进行了总结和展望。

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