Design and fabrication of ultraviolet diffractive microlens array

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.03.002

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Design and fabrication of ultraviolet diffractive microlens array

更新时间：2025-09-01

- Design and fabrication of ultraviolet diffractive microlens array
- Vol. 38, Issue 3, Pages: 263-267(2012)
- 作者机构：
  
  1. 1:上海理工大学光电信息与计算机工程学院
  2. 2:上海市现代光学系统重点实验室
  3. 3:五邑大学薄膜与纳米材料研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.03.002
  CLC：
- Published：2012
- 稿件说明：
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Design and fabrication of ultraviolet diffractive microlens array[J]. 2012, 38(3): 263-267.
DOI：

Design and fabrication of ultraviolet diffractive microlens array[J]. 2012, 38(3): 263-267. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.03.002.

摘要

为了提高紫外焦平面阵列的填充因子

可以通过微透镜阵列与紫外焦平面阵列的集成

以改善紫外焦平面阵列的探测性能。根据标量衍射理论设计了用于日盲型紫外焦平面阵列的128×128衍射微透镜阵列

其工作中心波长为350nm

单元透镜F数为F/3.56。采用组合多层镀膜与剥离的工艺方法制备了128×128衍射微透镜阵列

对具体的工艺流程和制备误差进行了分析

测量了衍射微透镜阵列的光学性能。实验结果表明:衍射微透镜阵列的衍射效率为88%

与理论值95%有偏差

制备误差主要来自对准误差和线宽误差。紫外衍射微透镜阵列具有均匀的焦斑分布

与紫外焦平面阵列单片集成能较好地改善器件的整体性能。

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