Research of post processing algorithm for ultra-smooth optical surface polishing

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.04.004

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Research of post processing algorithm for ultra-smooth optical surface polishing

更新时间：2025-09-01

- Research of post processing algorithm for ultra-smooth optical surface polishing
- Vol. 38, Issue 4, Pages: 387-391(2012)
- 作者机构：
  
  1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.04.004
  CLC：
- Published：2012
- 稿件说明：
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Research of post processing algorithm for ultra-smooth optical surface polishing[J]. 2012, 38(4): 387-391.
DOI：

Research of post processing algorithm for ultra-smooth optical surface polishing[J]. 2012, 38(4): 387-391. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.04.004.

摘要

为了精确控制超光滑加工过程中磨头的运动轨迹

从而实现光学元件材料去除的均匀稳定

研究了超光滑加工的后置处理算法。分析了超光滑加工工艺的特点和相应的超光滑机床的机械结构

建立了机床的坐标系统

构造了机床的运动学模型。对于光学元件母线为任意平面曲线的情况

研究了磨头运动轨迹的等误差直线逼近算法。在曲率半径为290mm

相对口径为1∶2.9的凹球面上进行了超光滑加工实验。结果表明

利用所述算法可以精确地控制磨头的运动轨迹

从而保证材料去除的稳定性。

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