Shack-Hartmann wavefront sensor nonnull testing off-axis aspheric surface on axis

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.04.007

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Shack-Hartmann wavefront sensor nonnull testing off-axis aspheric surface on axis

更新时间：2025-09-01

- Shack-Hartmann wavefront sensor nonnull testing off-axis aspheric surface on axis
- Vol. 38, Issue 4, Pages: 410-414(2012)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室
  2. 2:中国科学院研究生院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.04.007
  CLC：
- Published：2012
- 稿件说明：
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Shack-Hartmann wavefront sensor nonnull testing off-axis aspheric surface on axis[J]. 2012, 38(4): 410-414.
DOI：

Shack-Hartmann wavefront sensor nonnull testing off-axis aspheric surface on axis[J]. 2012, 38(4): 410-414. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.04.007.

摘要

在离轴非球面反射镜研磨后期和粗抛光阶段

被测反射镜面形与理想面形存在着较大的偏差

表面反射率较低

采用干涉测量会因局部区域干涉条纹过密或条纹对比度过低

造成普通干涉仪无法进行全口径测量

而普通接触式轮廓仪测量精度此时已经不能满足加工要求。鉴于Shack-Hartmann波前传感器较大的动态范围和较高的测量精度

提出了采用Shack-Hartmann波前传感器非零位在轴检测离轴非球面面形

研究了该方法的检测原理并搭建了检测系统

分析了系统误差来源

并制作了用于在轴检测离轴非球面的参考波前

对两个不同加工精度的离轴非球面反射镜进行了测量

并与干涉仪的测量结果进行了对比。对比结果表明

Shack-Hartmann波前传感器的测量结果是正确可靠的

并且可以弥补轮廓仪测量和干涉仪测量的不足

从而证明了采用Shack-Hartmann波前传感器在轴检测离轴非球面的可行性和正确性。

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