Design for parameters of astigmatic lens in defocus detection based on astigmatic method

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.04.019

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Design for parameters of astigmatic lens in defocus detection based on astigmatic method

更新时间：2025-09-01

- Design for parameters of astigmatic lens in defocus detection based on astigmatic method
- Vol. 38, Issue 4, Pages: 435-440(2012)
- 作者机构：
  
  1. 1:上海理工大学光电信息与计算机工程学院教育部光学仪器与系统工程研究中心
  2. 2:上海市现代光学系统重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.04.019
  CLC：
- Published：2012
- 稿件说明：
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Design for parameters of astigmatic lens in defocus detection based on astigmatic method[J]. 2012, 38(4): 435-440.
DOI：

Design for parameters of astigmatic lens in defocus detection based on astigmatic method[J]. 2012, 38(4): 435-440. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.04.019.

摘要

推导出了离焦量与聚焦误差信号功率的关系式。利用MATLAB软件仿真

详细分析了像散透镜系统各个参数对离焦量、灵敏度、光斑大小等的影响

得到了像散圆透镜与像散柱透镜焦距之间的距离关系。结果发现聚焦物镜和探测器参数对最小离焦量、灵敏度、精度有决定性的影响。提出了像散透镜系统各光学参数选择的原则和方法

并以德国Silicon Sensor公司的QP50-6型四象限探测器为例

详细分析了离焦量与聚焦误差信号功率的线性关系。这些工作对建立满足应用对象要求的像散法离焦检测系统具有重要的指导意义。

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