Effect of film thickness on optical constants of metal film

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.05.025

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Effect of film thickness on optical constants of metal film

更新时间：2025-09-01

- Effect of film thickness on optical constants of metal film
- Vol. 38, Issue 5, Pages: 602-606(2012)
- 作者机构：
  
  1. 1:西安工业大学光电工程学院
  2. 2:中国空间技术研究院西安分院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.05.025
  CLC：
- Published：2012
- 稿件说明：
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Effect of film thickness on optical constants of metal film[J]. 2012, 38(5): 602-606.
DOI：

Effect of film thickness on optical constants of metal film[J]. 2012, 38(5): 602-606. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2012.05.025.

摘要

从麦克斯韦方程出发

可以得到超薄金属膜层光学常数n、k与其厚度有关系的理论依据。采用电阻热蒸发和电子束热蒸发的方法在K9玻璃基底上分别沉积了不同厚度的Cu膜、Cr膜、Ag膜

由椭偏法检测、Drude模型拟合

获得了不同厚度Cu膜、Cr膜、Ag膜光学常数n、k随波长λ的变化规律。超薄金属薄膜与块状金属的光学常数相差较大

随着薄膜厚度的增加

n、k值趋近于块状金属。通过对样品膜层吸收、色散特性的分析

发现连续金属薄膜在可见光波段对长波的吸收较大

而且相比于介质薄膜平均色散率高10mn～102nm量级。

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