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1:上海理工大学光电信息与计算机工程学院
Published:2013
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Automatic 6-dimensional nano-measuring instrument[J]. 2013, 39(1): 33-36.
DOI:
Automatic 6-dimensional nano-measuring instrument[J]. 2013, 39(1): 33-36. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.01.006.
介绍了一种用于在线检测纳米定位平台的全自动六维纳米测量系统。提出了整波长干涉测量方法
可以避免激光干涉仪的非线性影响
使系统能够得到准确校准
达到纳米级精度。该测量系统可以测定6个自由度
三维直线运动测量范围为100μm×100μm×100μm
分辨率能够达到1nm以下。
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