Efficient signal modeling for vertical scanning white light interference microscopy

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.03.001

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Efficient signal modeling for vertical scanning white light interference microscopy

更新时间：2025-09-01

- Efficient signal modeling for vertical scanning white light interference microscopy
- Vol. 39, Issue 3, Pages: 195-199(2013)
- 作者机构：
  
  1:华中科技大学机械科学与工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.03.001
  CLC：
- Published：2013
- 稿件说明：
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Efficient signal modeling for vertical scanning white light interference microscopy[J]. 2013, 39(3): 195-199.
DOI：

Efficient signal modeling for vertical scanning white light interference microscopy[J]. 2013, 39(3): 195-199. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.03.001.

摘要

提出一种垂直扫描白光干涉信号的计算机快速模拟方法。该方法考虑到白光光源光谱分布及垂直扫描干涉系统对白光干涉信号的影响

通过正弦函数多项式拟合的方式减少模拟算法的运算量

消除了现有方法中数值积分运算量大

不便于实际分析的缺点。采用白光LED作为光源

用该方法对白光干涉信号进行模拟分析

并用直接数值积分信号模拟结果与白光干涉垂直扫描测量装置获得的实测信号进行对比

验证了该方法的准确性。

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