Effect of the center deviation of focusing spot on the measurement precision in the astigmatic defocus detecting system

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更新时间：2025-09-01

- Effect of the center deviation of focusing spot on the measurement precision in the astigmatic defocus detecting system
- Vol. 39, Issue 6, Pages: 483-487(2013)
- 作者机构：
  
  1. 1:上海理工大学光电信息与计算机工程院
  2. 2:教育部光学仪器与系统工程研究中心
  3. 3:上海市现代光学系统重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.06.001
  CLC：
- Published：2013
- 稿件说明：
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Effect of the center deviation of focusing spot on the measurement precision in the astigmatic defocus detecting system[J]. 2013, 39(6): 483-487.
DOI：

Effect of the center deviation of focusing spot on the measurement precision in the astigmatic defocus detecting system[J]. 2013, 39(6): 483-487. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2013.06.001.

通过推导高斯光条件下像散离焦检测系统中离焦量与聚焦误差信号功率之间的关系

分析了激光光斑能量中心相对四象限探测器几何中心的偏移距离和偏移角对离焦量测量精度的影响及其规律。在此基础上

提出了一种易于实现、能够精确定位四象限探测器的实验方法

该方法能够有效地提升系统抗干扰能力和探测精度

减小系统误差

加强系统稳定性。此过程对设计搭建高精度像散离焦检测系统具有重要的指导意义。

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