Detection method for the cube right angle errors with plane interferometer

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.03.020

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Detection method for the cube right angle errors with plane interferometer

更新时间：2025-09-01

- Detection method for the cube right angle errors with plane interferometer
- Vol. 40, Issue 3, Pages: 286-288(2014)
- 作者机构：
  
  1:南京理工大学军工试验中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.03.020
  CLC：
- Published：2014
- 稿件说明：
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Detection method for the cube right angle errors with plane interferometer[J]. 2014, 40(3): 286-288.
DOI：

Detection method for the cube right angle errors with plane interferometer[J]. 2014, 40(3): 286-288. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.03.020.

摘要

介绍一种使用平面干涉仪对立方体直角误差的测量方法。利用激光干涉测量方法具有精度高和灵敏度高的特点

制做一个放置立方体的夹具

使其测试光路在立方体内经反射后又由入射面出射

当与测试平行光重合时形成干涉

实现用平面干涉仪对立方体直角误差的检测。同时

也可对立方体表面平面度、玻璃材质缺陷等指标进行判别。具有与棱镜透镜干涉仪检测立方体直角误差的同等效果。

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