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1. 1:北京理工大学光电学院及北京市混合现实与新型显示工程技术研究中心
2. 2:北京京东方光电科技有限公司
Published:2014
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Growth and properties of ITO films on flexible polyimide(PI)substrates[J]. 2014, 40(5): 465-469.
DOI:
Growth and properties of ITO films on flexible polyimide(PI)substrates[J]. 2014, 40(5): 465-469. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.05.018.
利用射频磁控溅射的方法在柔性PI衬底上制备ITO薄膜
通过SEM(扫描电子显微镜)、XRD(X射线衍射仪)、四探针测试仪、分光光度计
分析了通氧量、溅射功率、工作气压及衬底温度对ITO薄膜表面形貌、成膜质量和光电特性的影响。结果显示:在纯氩气环境下
溅射功率为200W
工作气压为1.5Pa
在衬底温度为185℃~225℃时
薄膜的光电特性最好
ITO薄膜的电阻率为3.64×10-4Ω·cm
透过率为97%。
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