Non-contact measurement method for thickness of optical element

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.06.011

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Non-contact measurement method for thickness of optical element

更新时间：2025-09-01

- Non-contact measurement method for thickness of optical element
- Vol. 40, Issue 6, Pages: 535-538(2014)
- 作者机构：
  
  1:西安工业大学光电工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.06.011
  CLC：
- Published：2014
- 稿件说明：
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Non-contact measurement method for thickness of optical element[J]. 2014, 40(6): 535-538.
DOI：

Non-contact measurement method for thickness of optical element[J]. 2014, 40(6): 535-538. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.06.011.

摘要

为了实现光学零件厚度的非接触测量

设计了一种基于电光扫描的非接触测量方法。采用电扫描技术控制光开关

形成半径依次减小的环状光束

经过锥透镜后在光轴上形成连续移动的光点

当光点瞄准待测光学零件表面时

反射能量出现峰值

即定位了待测零件的表面

进而获得光学零件的几何厚度。建立了测量平板零件厚度和透镜中心厚度的数学模型;从理论上探讨了该方法的测量范围和测量精度。结果表明:设定锥面镜口径为100mm

材料折射率为1.52

当锥面镜的锥角从1°变化到40°时

测量动态范围可以从5507mm变化到26mm;当测量范围为26mm时

测量精度可以达到2.5μm。该方法可基本满足目前光学零件中心厚度的测量需求。

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