Design of high precision optical thickness measurement system based on AVR single chip microcomputer

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.06.012

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Design of high precision optical thickness measurement system based on AVR single chip microcomputer

更新时间：2025-09-01

- Design of high precision optical thickness measurement system based on AVR single chip microcomputer
- Vol. 40, Issue 6, Pages: 539-542(2014)
- 作者机构：
  
  1:宁夏师范学院物理与信息技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.06.012
  CLC：
- Published：2014
- 稿件说明：
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Design of high precision optical thickness measurement system based on AVR single chip microcomputer[J]. 2014, 40(6): 539-542.
DOI：

Design of high precision optical thickness measurement system based on AVR single chip microcomputer[J]. 2014, 40(6): 539-542. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2014.06.012.

摘要

对薄膜测厚系统进行了详尽剖析

从整体上论述了膜厚测量系统

研究了测厚系统中薄膜测厚仪的关键硬件电路

对薄膜测厚仪的软件流程进行了离散设计。以AVR单片机为核心处理器进行了数据采集和处理

设计并生产出了在线式光学薄膜厚度测量与监控系统。通过与实际膜厚进行对比实验

验证了薄膜测厚系统具有高精度、高稳定性和高可靠性

可应用于实际工业生产。

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