The method of axial fast identified focus of laser differential confocal microscopy imaging

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2015.05.001

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The method of axial fast identified focus of laser differential confocal microscopy imaging

更新时间：2025-09-01

- The method of axial fast identified focus of laser differential confocal microscopy imaging
- Vol. 41, Issue 5, Pages: 385-389(2015)
- 作者机构：
  
  1:北京理工大学光电学院"精密光电测试仪器及技术"北京市重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2015.05.001
  CLC：
- Published：2015
- 稿件说明：
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The method of axial fast identified focus of laser differential confocal microscopy imaging[J]. 2015, 41(5): 385-389.
DOI：

The method of axial fast identified focus of laser differential confocal microscopy imaging[J]. 2015, 41(5): 385-389. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2015.05.001.

摘要

提出了一种基于光强信号实时判断的快速定焦方法

在对样品进行横向扫描的同时

驱动测量物镜轴向移动

对前焦探测器和后焦探测器采集到的光强信号进行实时处理

通过实时判断测量面与样品的位置关系迅速找到焦面位置

可实现快速、准确的轴向定焦

极大地提升了定焦速度。理论分析和初步的实验表明

该方法在一副图像的采集周期内能够实现轴向定焦

在同等定焦精度条件下

与清晰度定焦方法相比

可节省90℅以上的定焦时间。

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