Visualization measurement for the surface topology of silicon V-groove using optical coherence tomography(OCT)

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2016.06.011

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Visualization measurement for the surface topology of silicon V-groove using optical coherence tomography(OCT)

更新时间：2025-09-01

- Visualization measurement for the surface topology of silicon V-groove using optical coherence tomography(OCT)
- Vol. 42, Issue 6, Pages: 534-537(2016)
- 作者机构：
  
  1. 1:渭南师范学院物理与电气工程学院
  2. 2:陕西省X射线检测与应用研究开发中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2016.06.011
  CLC：
- Published：2016
- 稿件说明：
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Visualization measurement for the surface topology of silicon V-groove using optical coherence tomography(OCT)[J]. 2016, 42(6): 534-537.
DOI：

Visualization measurement for the surface topology of silicon V-groove using optical coherence tomography(OCT)[J]. 2016, 42(6): 534-537. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2016.06.011.

摘要

介绍了一种硅V型槽表面形貌测量的可视化方法

分析了谱域OCT的测量原理。利用谱域OCT实验测量系统进行了硅V型槽的成像实验

得到了硅V型槽的二维层析图像;通过分析二维层析图像

获取了硅V型槽的结构尺寸

实现了硅V型槽表面形貌的高精度可视化测量。

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