Confocal self-collimation decentration measurement structure with high accuracy

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.06.009

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Confocal self-collimation decentration measurement structure with high accuracy

更新时间：2025-09-01

- Confocal self-collimation decentration measurement structure with high accuracy
- Vol. 44, Issue 6, Pages: 681-685(2018)
- 作者机构：
  
  1:北京理工大学光电学院光学测量研究中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.06.009
  CLC：
- Published：2018
- 稿件说明：
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Confocal self-collimation decentration measurement structure with high accuracy[J]. 2018, 44(6): 681-685.
DOI：

Confocal self-collimation decentration measurement structure with high accuracy[J]. 2018, 44(6): 681-685. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2018.06.009.

摘要

研制了一种基于共焦轴向层析定焦、自准直横向定焦的共焦自准直中心偏测量装置。利用共焦探测模块对被测球面镜的球心和顶点位置进行定焦

从而测得被测球面镜的曲率半径;利用光路自准直方法探测被测镜旋转过程中反射光在探测面上的路径获得被测镜的偏心量

结合偏心量和曲率半径计算得出中心偏。与传统中心偏测量装置相比

所提测量装置可以同时测得曲率半径和中心偏

避免了重复装卡引入的测量误差

有效地提高了测量精度、简化了测量过程、降低了测量成本。实验结果表明测量装置的中心偏重复测量不确定度可达0.065″。

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