Research on a new method of high precision dimension measurement based on linear CCD fused grating ruler

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.03.004

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Research on a new method of high precision dimension measurement based on linear CCD fused grating ruler

更新时间：2025-09-01

- Research on a new method of high precision dimension measurement based on linear CCD fused grating ruler
- Vol. 45, Issue 3, Pages: 275-281(2019)
- 作者机构：
  
  1. 1:西安建筑科技大学机电工程学院
  2. 2:中国科学院先进技术研究所
  3. 3:西北工业大学自动化学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.03.004
  CLC：
- Published：2019
- 稿件说明：
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Research on a new method of high precision dimension measurement based on linear CCD fused grating ruler[J]. 2019, 45(3): 275-281.
DOI：

Research on a new method of high precision dimension measurement based on linear CCD fused grating ruler[J]. 2019, 45(3): 275-281. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.03.004.

摘要

为了解决数字图像亚像素级高精度尺寸检测问题

采用了基于人工神经网络的线阵相机镜头畸变矫正方法

比传统的多项式拟合法矫正精度高且操作简便;提出了将光栅尺融入线阵相机扫描机构的新方法

利用高精度光栅尺测位移信号触发线阵CCD图像采集动作

精确获取线阵相机扫描目标的亚像素级图像。实验证明

新的测量技术可在对运动系统要求不高的情况下获取高精度图像

图像检测精度可以达到1μm。

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