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1:北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室
Published:2019
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Fast focusing method based on single-step driving laser confocal microscope[J]. 2019, 45(5): 535-540.
DOI:
Fast focusing method based on single-step driving laser confocal microscope[J]. 2019, 45(5): 535-540. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.05.005.
针对现有共焦显微镜中定焦速度慢和定焦精度差的问题
提出了基于单步驱动的激光共焦显微镜快速定焦方法。充分利用轴向扫描器件的响应时间通过单步驱动获取数据
大幅提高采集速度
提高系统信噪比;通过拟合区间优化和分开拟合的数据处理方法来快速、准确获取定焦目标位置
进而实现激光共焦显微镜轴向定焦效率的提升。理论分析与实验结果表明:与现有定焦方法相比
方法在粗定焦阶段使定焦速度提升5.64倍
在准确定焦阶段使定焦速度提升3.08倍
其有效提升了现有共焦显微镜的轴向定焦速度和精度。
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