Microsphere-assisted phase-shifting interference three-dimensional morphology measurement

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2020.03.009

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

Microsphere-assisted phase-shifting interference three-dimensional morphology measurement

更新时间：2025-09-01

- Microsphere-assisted phase-shifting interference three-dimensional morphology measurement
- Vol. 46, Issue 3, Pages: 316-321(2020)
- 作者机构：
  
  1:上海理工大学光电信息与计算机工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2020.03.009
  CLC：
- Published：2020
- 稿件说明：
移动端阅览
Microsphere-assisted phase-shifting interference three-dimensional morphology measurement[J]. 2020, 46(3): 316-321.
DOI：

Microsphere-assisted phase-shifting interference three-dimensional morphology measurement[J]. 2020, 46(3): 316-321. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2020.03.009.

摘要

相移干涉显微镜在微观物体三维形貌的重构横向分辨率上受衍射极限影响

一般在微米级

限制其应用。将高折射率微球嵌入Mirau型相移干涉显微系统中

利用微球超分辨机理提高了其三维重构横向分辨能力

通过和原子力显微镜的测量对比验证了方法的可行性。仿真分析了微球尺寸对光子纳米喷流效应和超分辨能力的影响;同时使用两种不同尺寸的微球对275nm线宽的标准光栅样品进行了三维形貌重构;结果表明

在两种微球的辅助下

相移干涉显微系统均能够精确还原样品的三维结构

光栅深度测量结果与原子力显微镜结果相当。在微球辅助下

系统的横向分辨能力达到了275nm

相较于不使用微球的情况下提高了2.1倍

微球的最高放大率达到了3.4倍。系统在微纳米测量等领域具有较高的应用价值。

Abstract

关键词

Keywords

references

Views

211

下载量

CSCD

Alert me when the article has been cited

提交

Tools

Publicity Resources

Research on the calibration of binocular system based on stereoscopic target

Microscopic imaging of sub-wavelength surface pattern based on microsphere lenses

3D Measurement method of Gray code structured light under interference of reflected light

Fast calibration method for a 3D shape measurement system based on 2D color images

Research on the calibration technique of projector in structured light 3D measurement system

Related Author

高楠

肖艳军

孟召宗

张昂

赵涵卓

丁宇航

张宗华

王晨

Related Institution

1:河北工业大学机械工程学院

2:南京师范大学物理与科学技术学院纳米光子学实验室

1:安徽科技学院电气与电子工程学院光电工程实验室

1:天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术教育部重点实验室

1:四川大学电子信息学院光电系

⁰