High-precision retractable PZT driving power technology for phase-shifting interferometry

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.03.012

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High-precision retractable PZT driving power technology for phase-shifting interferometry

更新时间：2025-09-01

- High-precision retractable PZT driving power technology for phase-shifting interferometry
- Vol. 47, Issue 3, Pages: 321-326(2021)
- 作者机构：
  
  1. 1:北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室
  2. 2:之江实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.03.012
  CLC：
- Published：2021
- 稿件说明：
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High-precision retractable PZT driving power technology for phase-shifting interferometry[J]. 2021, 47(3): 321-326.
DOI：

High-precision retractable PZT driving power technology for phase-shifting interferometry[J]. 2021, 47(3): 321-326. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.03.012.

摘要

针对现有的三压电陶瓷移相器难以驱动大口径参考镜进行移相干涉测量的问题

设计了一种用于被测镜单压电陶瓷驱动移相干涉测量系统的高精度压电陶瓷移相器驱动电源。电源采用误差放大式结构

根据输入信号与输出采样的偏差

通过比例作差与光耦隔离等环节输出控制信号

进而控制MOSFET的导通状态调整充放电电流

控制由倍压整流电路生成的直流高压源进行输出

实现对驱动电源输出电压的稳定控制。实验表明其高精度压电陶瓷驱动电源具有在-600～+600V范围内输出连续可调电压的能力

且纹波小于20mV

线性度和精确度高

稳定性好

可实现压电陶瓷的可伸缩精确移相

满足被测镜移相干涉测量系统进行大口径被测镜高精度面形测量的要求。

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