Preparation of laser filter for shielding electromagnetic wave and infrared

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.05.009

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Preparation of laser filter for shielding electromagnetic wave and infrared

更新时间：2025-09-01

- Preparation of laser filter for shielding electromagnetic wave and infrared
- Vol. 47, Issue 5, Pages: 561-564(2021)
- 作者机构：
  
  1:西安应用光学研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.05.009
  CLC：
- Published：2021
- 稿件说明：
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Preparation of laser filter for shielding electromagnetic wave and infrared[J]. 2021, 47(5): 561-564.
DOI：

Preparation of laser filter for shielding electromagnetic wave and infrared[J]. 2021, 47(5): 561-564. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.05.009.

摘要

为了研制具有高效电磁屏蔽功能的反红外、透1064nm激光的滤光片

基于金属薄膜诱导理论和多层薄膜的干涉原理

设计了诱导滤光膜的膜系结构

并讨论了金属Ag薄膜厚度误差对滤光片光谱性能的影响。采用离子束辅助沉积的方式制备膜系中的介质薄膜

采用离子束溅射方式制备了金属Ag薄膜;利用放大膜厚控制误差的方法

精确地监控薄层金属Ag膜的沉积厚度

同时避免了Ag膜被氧化。通过工艺实验

制备的滤光片在1064nm激光波长的透射率达到88%以上、中长波红外波段反射率达90%以上

对18～36GHz电磁波屏蔽效能达到23dB以上

具有良好的中长波红外及电磁波屏蔽功能。

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