External sphere grinding principle error analysis and experimental study of hemispherical resonator

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.03.011

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External sphere grinding principle error analysis and experimental study of hemispherical resonator

更新时间：2025-09-01

- External sphere grinding principle error analysis and experimental study of hemispherical resonator
- Vol. 48, Issue 3, Pages: 295-300(2022)
- 作者机构：
  
  1:华中光电技术研究所武汉光电国家研究中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.03.011
  CLC： TH824.3;TG580.6
- Published：2022
- 稿件说明：
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External sphere grinding principle error analysis and experimental study of hemispherical resonator[J]. 2022, 48(3): 295-300.
DOI：

External sphere grinding principle error analysis and experimental study of hemispherical resonator[J]. 2022, 48(3): 295-300. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.03.011.

摘要

通过对“范成法”加工半球谐振子外球面的机理分析，推导出外球面曲率半径的计算公式，分析出影响谐振子外球面形状误差的主要因素为砂轮的形状误差、机床的轴系定位偏差和机床旋转轴的跳动。砂轮形状误差包括砂轮中径误差和砂轮刃口半径误差，机床轴系定位偏差包括X、Y和B轴定位偏差，机床旋转轴跳动包括径向跳动和轴向跳动。通过优化外球面加工工艺参数，加工得到的谐振子外球面圆度小于0.25μm

同心度小于0.4μm

表面粗糙度小于0.02μm

谐振子品质因数大于2.6×10~7。

Abstract

同心度小于0.4μm

表面粗糙度小于0.02μm

谐振子品质因数大于2.6×10~7。

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