Laser differential confocal sensor for freeform surface measurement

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.04.007

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Laser differential confocal sensor for freeform surface measurement

更新时间：2025-09-01

- Laser differential confocal sensor for freeform surface measurement
- Vol. 48, Issue 4, Pages: 403-409(2022)
- 作者机构：
  
  1:北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.04.007
  CLC： TP212
- Published：2022
- 稿件说明：
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Laser differential confocal sensor for freeform surface measurement[J]. 2022, 48(4): 403-409.
DOI：

Laser differential confocal sensor for freeform surface measurement[J]. 2022, 48(4): 403-409. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.04.007.

摘要

针对自由曲面测量问题，构建了一套高精度大量程激光差动共焦传感器。该传感器基于激光差动共焦原理，利用归一化单点定焦模型减小被测表面倾斜角度、反射率的影响，结合非等距分数阶累加预测算法预判焦点位置，实现快速跟踪定焦。将气浮导轨与PZT结合拓展轴向扫描范围。实验表明，该传感器轴向分辨力优于3nm

可测量表面倾斜角度达22°

轴向扫描范围达50mm

差动曲线的过零点标准偏差为5.7nm

有良好的重复性。该传感器为自由曲面的面型轮廓测量提供了一种新的方法。

Abstract

可测量表面倾斜角度达22°

轴向扫描范围达50mm

差动曲线的过零点标准偏差为5.7nm

有良好的重复性。该传感器为自由曲面的面型轮廓测量提供了一种新的方法。

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