Comparative study of absolute test method based on odd-even function decomposition algorithm

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.06.019

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Comparative study of absolute test method based on odd-even function decomposition algorithm

更新时间：2025-09-01

- Comparative study of absolute test method based on odd-even function decomposition algorithm
- Vol. 48, Issue 6, Pages: 684-689(2022)
- 作者机构：
  
  1:南京理工大学电子工程与光电技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.06.019
  CLC： TH744.3
- Published：2022
- 稿件说明：
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Comparative study of absolute test method based on odd-even function decomposition algorithm[J]. 2022, 48(6): 684-689.
DOI：

Comparative study of absolute test method based on odd-even function decomposition algorithm[J]. 2022, 48(6): 684-689. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2022.06.019.

摘要

奇偶函数法与N次旋转法是平面绝对检验方法中常用的两种方法，这两方法在恢复面形的过程中都使用了奇偶函数分解算法，但是在求解奇奇项方面使用的方法不同，对比了这两种绝对检验方法。在奇偶函数法与N次旋转法的算法仿真过程中加入待测平晶重力形变的有限元分析，并对100mm口径平晶进行奇偶函数法与N次旋转法实验，将面形恢复结果与液面法测量结果对比，结果显示奇偶函数法恢复面形的PV值差值为4.864nm

N次旋转法恢复面形的PV值差值为1.853nm。结果表明存在重力影响时，N次旋转法恢复面形精度优于奇偶函数法。仿真分析旋转角度误差对于奇偶函数法与N次旋转法的影响，结果显示N次旋转法抗旋转角度误差能力强于奇偶函数法。

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