Capturing the motion of laser pulse in photoresist with compressed ultrafast photography

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.03.004

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Capturing the motion of laser pulse in photoresist with compressed ultrafast photography

更新时间：2025-09-01

- Capturing the motion of laser pulse in photoresist with compressed ultrafast photography
- Vol. 49, Issue 3, Pages: 264-269(2023)
- 作者机构：
  
  1:五邑大学智能制造学部
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.03.004
  CLC： TN305.7;TP391.41
- Published：2023
- 稿件说明：
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Capturing the motion of laser pulse in photoresist with compressed ultrafast photography[J]. 2023, 49(3): 264-269.
DOI：

Capturing the motion of laser pulse in photoresist with compressed ultrafast photography[J]. 2023, 49(3): 264-269. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.03.004.

摘要

在超快时间尺度上以二维空间分辨率揭示激光脉冲在光刻胶之间的运动过程，将有助于了解激光加工过程和优化加工工艺。然而现有记录激光脉冲在光刻胶中运动过程的成像技术都存在需要多次重复拍摄或时间分辨率受限等问题。为了克服这些问题，通过使用压缩超快摄影来观测光刻胶中激光脉冲的运动。实验结果表明，搭建的实验系统能以1.54×10~(11)fps的帧率，单次成像数百帧的图像序列深度，实时观测到这一不可重复的超快事件。

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