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1. 1:长春光学精密机械与物理研究所
2. 2:中国科学院大学
Published:2023
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Monochromator design and wavelength precision analysis compensation method research[J]. 2023, 49(4): 446-451.
DOI:
Monochromator design and wavelength precision analysis compensation method research[J]. 2023, 49(4): 446-451. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2023.04.005.
针对紫外-可见光谱定标精度需求,设计了一款波段范围在185~900nm的三光栅单色仪;为提高单色仪的波长扫描精度,降低高精度波长扫描机构在工程上的成本。建立了光栅转角误差对扫描机构波长精度的影响模型,设计了基于高精度编码器的转角误差补偿装置,通过软件不同参数设置和算法设计的补偿算法,实现了波长扫描机构的精度校正;实验结果表明,通过参数算法补偿后,扫描机构的波长准确性精度和波长重复性精度在工作波段范围内有所提高,不同波长下其精度的提高程度不同,其中,波长准确性精度提高比范围为20.8~35.2%
波长重复性精度提高比范围为61.5~95.2%。实验结果验证了误差补偿装置及补偿算法的有效性,提高了波长扫描机构的精度,降低了高精度波长扫描机构在工程应用上的成本。
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