Uncertainty analysis of geometrical errors measurement system based on PSD

doi:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.05.017

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

Uncertainty analysis of geometrical errors measurement system based on PSD

更新时间：2025-09-01

- Uncertainty analysis of geometrical errors measurement system based on PSD
- Vol. 50, Issue 5, Pages: 634-640(2024)
- 作者机构：
  
  1. 1:中国计量大学计量测试与仪器学院
  2. 2:杭州光尺科技有限公司
  3. 3:浙江省计量科学研究院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.05.017
  CLC： TH74
- Published：2024
- 稿件说明：
移动端阅览
Uncertainty analysis of geometrical errors measurement system based on PSD[J]. 2024, 50(5): 634-640.
DOI：

Uncertainty analysis of geometrical errors measurement system based on PSD[J]. 2024, 50(5): 634-640. DOI： 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.05.017.

摘要

针对形位误差高精度测量的要求，利用位置敏感探测器(PSD)具有高精度、高灵敏度、响应迅速、易于与其他系统集成等优点，搭建了以激光光束为基准线，二维位置敏感探测器为光电转化器件的形位误差测量系统，通过移动终端软件可实时显示采样点相对于基准线的位置变化并以最小二乘法快速输出形位误差评定结果，相较于传统测量方法更快速更稳定。系统对直线导轨的直线度进行测量并从单点测量和综合测量系统两个角度进行不确定度评定，实验表明：基于单点测量的标准不确定度为5.9μm

基于测量系统的标准不确定度为7.4μm

验证系统具有可靠的测量结果。

Abstract

关键词

Keywords

references

Views

164

下载量

CSCD

Alert me when the article has been cited

提交

Tools

Publicity Resources

Research on the calibration of collimator's angle scale indicating value

Projection measurement of machining plastic gear tooth contour error & sampling inspection characteristics

Precision analysis of radiometric calibration optical system with infrared multi-spectral scanner in simulated space environment

Study on positioning accuracy assessment model and geometric errors for single-linear-array CCD camera

Compensation test of aspheric lens between two wavelengths

Related Author

高阁

王涛

郑卫

许耀东

杨林华

许杰

智喜洋

张伟

Related Institution

2:中国兵器工业试验测试研究院

1:中国华阴兵器试验中心

1:上海工程技术大学

1:北京卫星环境工程研究所

1:哈尔滨工业大学空间光学工程研究中心

⁰