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1:南京理工大学电子工程与光电技术学院
Published:2024
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Method to solve assembly misalignment of Off-axis reverse system[J]. 2024, 50(6): 655-660.
DOI:
Method to solve assembly misalignment of Off-axis reverse system[J]. 2024, 50(6): 655-660. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2024.06.011.
基于矢量像差理论,推导了离轴反射系统的失调像差表达式,提出一种高效的离轴反射系统装调方法。通过分析发现失调离轴系统不会引入新形式的像差,只是由于光瞳缩放因子的原因,相较于同轴母系统,其几项初级像差会进行缩放,且高级孔径像差会部分转化为低阶孔径像差;利用Zemax软件对离轴双反系统进行仿真,验证了失调像差表达式,模拟装调的失调量达到了10~(-4)mm数量级。最后,利用该计算方法指导了实际Φ150mm口径离轴双反扩束系统的装调,各初级像差达到10~(-5)(λ=632.8nm)数量级,系统的RMS值达到0.04λ
验证了该像差失调量计算方法的准确性。
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