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1:西安应用光学研究所
Published:2025
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Detection and alignment of off-axis hyperbolic optical system[J]. 2025, 51(3): 269-275.
DOI:
Detection and alignment of off-axis hyperbolic optical system[J]. 2025, 51(3): 269-275. DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2025.03.007.
准直光学系统是光学测试装置的重要组成部分,在激光光束质量测量校准领域,对准直光学系统技术指标要求极为严格,文章介绍了一种离轴双曲面光学系统的高精度装配和调整方法。通过分析补偿法和无像差点法检验对双曲面反射镜圆锥系数k值的适用范围,根据主、次镜参数,分别选择补偿法和无像差点法进行面形检验,实现主次镜的高精度装配。结合离轴R-C系统结构特点,以机械端面及水平面为装调基准,使干涉仪光轴、平面镜法线、主镜光轴相互平行并与装调基准建立关系。通过分析次镜失调量与系统波相差之间的关系,采取计算机辅助装调,对次镜进行6个自由度的调整使系统波像差快速收敛,装调后系统波像差RMS优于0.0245λ@632.8nm
满足设计指标要求。
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