本文着重介绍为提高激光全息干涉仪的检测精度而在仪器结构和测量方法上采取的措施。JQ-200型激光全息干涉仪采用低压充气的气垫作减震器

全机总重仅100多公斤

体积仅1米~3

并具有优良的防震性能和良好的稳定性与重复性。对均匀性好的玻璃的合干涉图利用m_t对m_r的周期调制来判读两组条纹的交叠级序

提高了测量精度。并提出了交错合干涉图的测量方法

用读数显微镜更客观更精确地判读两种条纹的交叠级序

从而使对Δn的检测精度达到5×10~7。