液体反射式激光平面干涉仪

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液体反射式激光平面干涉仪

更新时间：2025-09-01

- 液体反射式激光平面干涉仪
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- 光学技术 1979年第2期页码：25-28
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  中图分类号：
- 纸质出版：1979
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张辑武, 郭念德, 惠爱贤, 等. 液体反射式激光平面干涉仪[J]. 光学技术, 1979,(2):25-28.
张辑武, 郭念德, 惠爱贤, 等. 液体反射式激光平面干涉仪[J]. 光学技术, 1979,(2):25-28. DOI：

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摘要

口径大于200毫米、光圈要求在0.1道以上的大型平面镜的面形检验

是十分困难的事情。为解决图1所示平面镜加工中检验和最后鉴定的问题

我们制作了一台大口径反射式液

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