一、玻璃平板光波导的制备众所周知

平板光波导是由三层电介质构成的

即由折射率为n_f的导波层

折射率为n_s的衬底及折射率为n_c的上包层等三层电介质构成的

如图1所示

其中n_fn_s≥n_c。作为无源光波导的材料

通常要求它对传导光的吸收损耗小

易于成膜

并且导波层具有高于衬底的折射率。我们选用K9玻璃作衬底材料

BaK7玻璃作导波层材料

利用高频溅射工艺制备了光波导。先将衬底制成2×10×70毫米的样品

并对要成膜的一面仔细地进行光学抛光(要求不