一、引论当蒸发一个单层透明膜的时候

每当蒸发的薄膜厚度达到λ_0/4的整数倍时

在λ_0波长处的透过率T或反射率R就会达到极值

光电监控仪的信息就会出现一个反转点。当多层膜的所有膜层都是λ_0/4型时

都会有此现象。利用光学薄膜的这一性质监控薄膜厚度的方法

人们一般称之为“极值法”。极值法监控可以分为两大类:一类是直接监控

即所有膜层都是直接地在所生产的元件上施加监控;另一类是间接监控

这时的监控是在一系列的比较片上进行。直接监控的好处在于所监控的就是