国内多数单位在照相复制度盘时

工件与母板用弹簧夹紧

然后放在旋转台上

在6千瓦氙灯下曝光。我们认为这一工艺有以下缺点: 1.弹簧夹紧会导致一定的机械变形。2.氙灯产生大量的热(强红外辐射)会使红矾分解而引起虫胶热固化(俗称“灰雾”)。这样减少了曝光和显影宽容度

又引起了工件与母板不均匀的热变形。为了达到均匀曝光

我们改用了一种可旋转紫外曝光装置

曝光过程中工件与母板不动

而光源旋转

工件依靠重力自然与母板接触。实践证明

新工艺复制精度可达1″。下面将该装置作一简单介绍: