薄膜折射率色散对波长调制法及双色法膜厚控制的影响

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薄膜折射率色散对波长调制法及双色法膜厚控制的影响

更新时间：2025-09-01

- 薄膜折射率色散对波长调制法及双色法膜厚控制的影响
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- 光学技术 1982年第2期页码：2-7
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  中图分类号：
- 纸质出版：1982
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赵福庭, 陈绮. 薄膜折射率色散对波长调制法及双色法膜厚控制的影响[J]. 光学技术, 1982,(2):2-7.
赵福庭, 陈绮. 薄膜折射率色散对波长调制法及双色法膜厚控制的影响[J]. 光学技术, 1982,(2):2-7. DOI：

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摘要

一、引言基于波长调制法膜厚控制系统的原理

对于所监控的膜层

当其光学厚度为监控波长的四分之一

或其整数倍时

控制仪表的指示应为零值。此时极值法仪表的指示应为极值。

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