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纸质出版:1982
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顾隆道, 章熙康, 林永昌. 评定异质硅膜质量的光学方法——光“吸收因子”法[J]. 光学技术, 1982,(6):28-31.
顾隆道, 章熙康, 林永昌. 评定异质硅膜质量的光学方法——光“吸收因子”法[J]. 光学技术, 1982,(6):28-31. DOI:
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目前
异质硅膜作为半导体器件材料已受到大家重视
其中以蓝宝石为衬底的气相外延硅片(SOS)已成功地应用于表面场效应集成电路的生产中。外延膜的质量对电路的性能起着关键作用
因此对薄膜质量的检测与控制
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