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纸质出版:1983
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李忠奇, 李正芬. 关于二次离子轰击制膜工艺的两点改进[J]. 光学技术, 1983,(4):5-7.
李忠奇, 李正芬. 关于二次离子轰击制膜工艺的两点改进[J]. 光学技术, 1983,(4):5-7. DOI:
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一、前言二次离子轰击净化镀膜表面的技术已被广泛采用
净化的效果决定于:(1)二次离子轰击结束到开始镀膜的时间τ;(2)充入气体的纯度。考克斯和哈斯的实验结果指出:
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